Độ tinh khiết của khí ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu quả dập tắt hồ quang như thế nào

Giới thiệu

Trong các hệ thống phân phối điện của nhà máy công nghiệp, các bộ phận cách điện bằng khí SF6 được lựa chọn chính xác bởi vì khí hexafluoride lưu huỳnh (SF6) mang lại hiệu suất dập tắt hồ quang mà không có chất cách điện nào khác có thể sánh kịp ở mức điện áp trung và cao. Độ bền điện môi của SF6 gấp khoảng 2,5 lần so với không khí ở áp suất khí quyển — và hiệu quả dập tắt hồ quang của nó được điều chỉnh bởi cơ chế phục hồi nhanh sau hồ quang, hoàn toàn phụ thuộc vào việc khí có mặt ở mức độ tinh khiết chính xác hay không. Khi độ tinh khiết đó bị ảnh hưởng, hiệu suất dập tắt hồ quang mà các kỹ sư đã thiết kế sẽ không còn nữa.

Sự suy giảm độ tinh khiết của khí SF6 trong các bộ phận cách điện là nguyên nhân trực tiếp nhất nhưng lại ít được theo dõi nhất dẫn đến sự cố dập tắt hồ quang trong thiết bị đóng cắt của các nhà máy công nghiệp — việc độ tinh khiết của khí SF6 giảm 5% do không khí xâm nhập hoặc sự tích tụ các sản phẩm phân hủy có thể làm giảm hiệu suất dập tắt hồ quang tới 20%, biến một sự cố ngắt mạch định mức thành một sự cố mất kiểm soát.

Đối với các kỹ sư điện tham gia thiết kế và vận hành các bộ phận cách điện bằng khí SF6 trong môi trường nhà máy công nghiệp, các đội bảo trì khắc phục sự cố liên quan đến hệ thống bảo vệ chống hồ quang tái diễn, cũng như các quản lý mua sắm đánh giá các chương trình quản lý chất lượng khí, việc hiểu rõ mối quan hệ chính xác giữa độ tinh khiết của khí và hiệu suất dập tắt hồ quang là nền tảng kỹ thuật đảm bảo hệ thống SF6 hoạt động đáng tin cậy. Bài viết này cung cấp khung tham chiếu đó — từ cơ sở vật lý của quá trình dập tắt hồ quang bằng khí SF6, qua các cơ chế suy giảm độ tinh khiết, cho đến các quy trình khắc phục sự cố và các thủ tục phục hồi tuân thủ tiêu chuẩn IEC.

Mục lục

• Độ tinh khiết của khí SF6 ảnh hưởng như thế nào đến hiệu suất dập tắt hồ quang trong các bộ phận cách điện khí?
• Những chất gây ô nhiễm nào làm giảm độ tinh khiết của SF6 và chúng ảnh hưởng đến hiệu suất bảo vệ chống hồ quang như thế nào?
• Làm thế nào để khắc phục sự cố liên quan đến độ tinh khiết của khí trong các bộ phận cách điện bằng khí SF6 tại nhà máy công nghiệp?
• Chiến lược quản lý độ tinh khiết khí nào giúp đảm bảo độ tin cậy của quá trình dập tắt hồ quang trong suốt vòng đời của thiết bị?

Độ tinh khiết của khí SF6 ảnh hưởng như thế nào đến hiệu suất dập tắt hồ quang trong các bộ phận cách điện khí?

Khí SF6 dập tắt hồ quang điện thông qua một cơ chế hoàn toàn khác biệt so với không khí hay dầu — và cơ chế đó cực kỳ nhạy cảm với thành phần của khí. Việc hiểu rõ các nguyên lý vật lý sẽ giải thích chính xác tại sao độ tinh khiết lại quan trọng và định lượng được mức suy giảm hiệu suất tương ứng với mỗi phần trăm ô nhiễm.

Cơ chế dập tắt hồ quang SF6 diễn ra theo ba giai đoạn liên tiếp:

Giai đoạn 1 — Sự bám dính của electron (Ngăn chặn hồ quang):
Các phân tử SF6 có độ âm điện rất cao — chúng bắt giữ các electron tự do do plasma hồ quang tạo ra với hiệu suất vượt trội. Các hệ số bám dính của electron¹ lượng SF6 xấp xỉ Gấp 500 lần so với nitơ trong điều kiện tương đương. Quá trình bắt giữ electron nhanh chóng này làm giảm đột ngột độ dẫn điện của plasma hồ quang khi dòng điện bằng không, từ đó dẫn đến sự tắt hồ quang. Bất kỳ khí tạp chất nào có độ âm điện thấp hơn — như nitơ, oxy, không khí — đều làm giảm hiệu suất bắt giữ này theo tỷ lệ tương ứng.

Giai đoạn 2 — Phục hồi tính điện môi (Phục hồi độ bền điện môi sau khi xảy ra hồ quang):
Sau khi dòng điện về 0, kênh hồ quang phải phục hồi độ bền điện môi nhanh hơn so với điện áp phục hồi tạm thời² (TRV) tăng lên dọc theo khe tiếp xúc. SF6 đạt được điều này nhờ quá trình tái kết hợp nhanh chóng các hạt plasma hồ quang trở lại thành các phân tử SF6 ổn định. Tốc độ phục hồi tỷ lệ thuận với áp suất riêng phần của SF6 — có nghĩa là ở độ tinh khiết SF6 là 95% (5% ô nhiễm không khí), tốc độ phục hồi điện môi chậm hơn khoảng 5% so với độ tinh khiết 100%. Ở quy mô thời gian microgiây của sự gia tăng TRV, sự khác biệt này quyết định thành công hay thất bại của việc ngắt hồ quang.

Giai đoạn 3 — Làm nguội nhanh bằng nhiệt (Tản nhiệt):
SF6 có đặc tính về nhiệt dung riêng và độ dẫn nhiệt giúp loại bỏ năng lượng khỏi kênh hồ quang một cách hiệu quả trong quá trình ngắt mạch. Các khí tạp chất — đặc biệt là nitơ và oxy — có khả năng làm nguội nhiệt thấp hơn đáng kể, dẫn đến giảm tốc độ trích xuất năng lượng khỏi kênh hồ quang và kéo dài thời gian tồn tại của hồ quang tại mỗi điểm giao cắt dòng điện bằng không.

Ảnh hưởng được định lượng của độ tinh khiết SF6 đối với hiệu suất dập tắt hồ quang:

$\text{Hiệu suất dập tắt hồ quang} \propto \left(\frac{P_{SF6}}{P_{total}}\right)^{1.4} \times \eta_{attachment}$

Mức độ tinh khiết của SF6	Hiệu suất làm nguội theo cung tương đối	Tốc độ phục hồi điện môi	Tình trạng tiêu chuẩn IEC 60480
≥99,91% TP3T (khí mới, IEC 603763)	100% (tham khảo)	Khả năng phục hồi tối đa	Tuân thủ — nạp mới
97–99,91 TP3T	96–100%	Giảm nhẹ	Tuân thủ — tái sử dụng trong quá trình vận hành
95–97%	88–96%	Sự suy giảm có thể đo lường được	Không đạt tiêu chuẩn — cần phải tân trang lại
90–95%	72–88%	Sự suy thoái nghiêm trọng	Không tuân thủ — phải xử lý ngay lập tức
<90%	<72%	Suy giảm nghiêm trọng	Cảnh báo nghiêm trọng — không được vận hành ở mức dòng điện sự cố định mức

Cái IEC 60480⁴ Ngưỡng độ tinh khiết 97% đối với việc tái sử dụng SF6 đang được sử dụng không phải là con số tùy tiện — đây là mức độ tinh khiết tối thiểu mà tại đó hiệu suất dập tắt hồ quang vẫn nằm trong giới hạn thiết kế của thiết bị ngắt mạch. Việc vận hành dưới ngưỡng này có nghĩa là phần cách điện bằng khí SF6 phải ngắt dòng điện sự cố bằng một hỗn hợp khí mà khả năng dập tắt hồ quang của nó chưa được kiểm định theo tiêu chuẩn loại và không thể đảm bảo được.

Những chất gây ô nhiễm nào làm giảm độ tinh khiết của SF6 và chúng ảnh hưởng đến hiệu suất bảo vệ chống hồ quang như thế nào?

Sự suy giảm độ tinh khiết của SF6 trong các bộ phận cách điện khí của nhà máy công nghiệp xảy ra qua bốn con đường ô nhiễm riêng biệt, mỗi con đường đều có dấu hiệu đặc trưng giúp xác định chính xác nguyên nhân sự cố. Việc xác định đúng con đường ô nhiễm là điều thiết yếu — chiến lược khắc phục ô nhiễm do không khí xâm nhập hoàn toàn khác biệt so với chiến lược đối với sự tích tụ các sản phẩm phụ của quá trình phân hủy hồ quang.

Đường lây nhiễm 1: Không khí xâm nhập

Nguồn: Các vết rò rỉ nhỏ tại các mối nối mặt bích, trục van vận hành hoặc lỗ rỗng trên đường hàn; tiếp xúc với không khí trong quá trình bảo trì; quy trình nạp khí không đúng cách khiến không khí lọt vào đường ống nạp trước khi quá trình xả khí SF6 hoàn tất.

Tác động đến độ tinh khiết: Không khí (78% N₂, 21% O₂) làm loãng trực tiếp nồng độ SF₆. Oxy đặc biệt gây hại — nó phản ứng với các sản phẩm phân hủy của hồ quang SF₆ để tạo thành SO₃ và SO₂F₂, đẩy nhanh quá trình tích tụ các sản phẩm phụ với tốc độ cao hơn mức dự kiến chỉ từ các hoạt động đóng cắt.

Tác động của hệ thống bảo vệ chống hồ quang: Nitơ làm giảm hiệu suất gắn điện tử; oxy gây ra quá trình oxy hóa trên bề mặt tiếp xúc, làm tăng điện trở tiếp xúc và năng lượng hồ quang trong mỗi lần ngắt mạch.

Dấu hiệu nhận diện: Máy phân tích khí cho thấy độ tinh khiết của SF6 giảm kèm theo sự gia tăng tương ứng của nồng độ nitơ và oxy; hàm lượng độ ẩm có thể vẫn ở mức thấp (điều này giúp phân biệt sự xâm nhập của không khí với sự nhiễm bẩn do độ ẩm phát sinh từ quá trình bảo trì).

Đường lây nhiễm 2: Sự xâm nhập của hơi ẩm

Nguồn: Việc xử lý chân không không đầy đủ trước khi nạp khí; hiện tượng thoát khí từ các miếng đệm epoxy và cách điện bằng nhựa đúc; các đường rò rỉ vi mô cho phép độ ẩm trong không khí xâm nhập; chất hút ẩm bị bão hòa giải phóng độ ẩm đã hấp thụ trước đó trở lại pha khí.

Tác động đến độ tinh khiết: Độ ẩm không làm giảm trực tiếp nồng độ phân tử SF6 mà phản ứng với sản phẩm phụ của quá trình phân hủy arc⁵ để tạo ra HF và SO₂, là những chất gây ô nhiễm có tính điện môi, làm giảm hiệu suất cách điện thực tế bất kể tỷ lệ phần trăm độ tinh khiết của SF6 là bao nhiêu.

Tác động của hệ thống bảo vệ chống hồ quang: HF và SO₂ sinh ra từ các phản ứng giữa hơi ẩm và các sản phẩm phụ là các chất có độ âm điện cao, giúp bù đắp một phần cho sự pha loãng của SF₆ — nhưng sự hiện diện của chúng cho thấy quá trình ăn mòn hóa học đang diễn ra trên bề mặt cách điện và các bộ phận kim loại, dẫn đến sự suy giảm dần dần cấu trúc hình học của buồng hồ quang.

Dấu hiệu nhận diện: Máy phân tích khí cho thấy độ ẩm tăng cao (điểm sương >–5°C ở áp suất hoạt động theo ngưỡng cảnh báo của tiêu chuẩn IEC 60480) với nồng độ SO₂ trên 12 ppmv.

Đường lây nhiễm 3: Sự tích tụ các sản phẩm phụ của quá trình phân hủy hồ quang

Nguồn: Các hoạt động đóng cắt thông thường tạo ra các sản phẩm phụ do sự phân hủy của SF6 trong mỗi lần ngắt dòng điện. Trong môi trường nhà máy công nghiệp có tần suất đóng cắt cao — như trung tâm điều khiển động cơ, hệ thống đóng cắt cụm tụ điện, hay các trường hợp thay đổi tải thường xuyên — tốc độ tích tụ các sản phẩm phụ này cao hơn đáng kể so với các ứng dụng tại trạm biến áp điện lực.

Tác động đến độ tinh khiết: Các sản phẩm phân hủy ổn định (SOF₂, SO₂F₂, SF₄) tích tụ trong pha khí, làm giảm áp suất riêng phần của SF₆. Chất hút ẩm hấp thụ một phần các sản phẩm phân hủy này nhưng có khả năng hấp thụ hạn chế — một khi đã bão hòa, nồng độ các sản phẩm phân hủy trong pha khí sẽ tăng nhanh chóng.

Tác động của hệ thống bảo vệ chống hồ quang: SOF₂ và SO₂F₂ có độ âm điện thấp hơn SF₆ và có đặc tính dập tắt hồ quang do nhiệt khác biệt; sự tích tụ của chúng làm thay đổi hiệu suất dập tắt hồ quang của hỗn hợp khí so với tiêu chuẩn thiết kế dựa trên SF₆ tinh khiết.

Dấu hiệu nhận diện: Máy phân tích khí cho thấy nồng độ SO₂ tăng dần theo số giờ vận hành; sự suy giảm độ tinh khiết của SF₆ có mối tương quan với tổng số lần đóng cắt chứ không phải với các hoạt động bảo trì.

Đường lây nhiễm số 4: Lây nhiễm chéo trong quá trình xử lý khí

Nguồn: Khí SF6 thu hồi từ một khoang bị trộn lẫn với khí thuộc loại độ tinh khiết khác; thiết bị thu hồi khí có hệ thống lọc không đủ tiêu chuẩn, dẫn đến việc lây lan các chất gây ô nhiễm giữa các khoang; các bình chứa SF6 được sử dụng cho nhiều loại khí khác nhau mà không được xả khí đúng cách.

Tác động đến độ tinh khiết: Khó dự đoán — tùy thuộc vào mức độ tinh khiết của các dòng khí hỗn hợp; có thể đưa vào các chất gây ô nhiễm không có trong khí ban đầu của khoang.

Tác động của hệ thống bảo vệ chống hồ quang: Tình huống có thể trở nên nghiêm trọng nếu khí có nồng độ ô nhiễm cao từ khoang bị hư hỏng sau sự cố trộn lẫn với khí sạch từ khoang đang hoạt động bình thường trong quá trình cứu hộ.

Trường hợp khách hàng — Khắc phục sự cố tại nhà máy công nghiệp: Lỗi bảo vệ chống hồ quang lặp lại:

Một kỹ sư bảo trì tại một nhà máy thép đã liên hệ với chúng tôi sau khi gặp phải ba sự cố hỏng hóc hệ thống bảo vệ hồ quang trong vòng 18 tháng trên một cụm thiết bị cách điện khí SF6 35kV phục vụ đường cấp nguồn cho máy biến áp lò hồ quang lớn. Mỗi sự cố đều xảy ra trong quá trình cấp điện cho máy biến áp — một tác vụ chuyển mạch tần số cao trong ứng dụng này. Phân tích khí cho thấy độ tinh khiết của SF6 là 93,4% — thấp hơn nhiều so với ngưỡng tái sử dụng theo tiêu chuẩn IEC 60480 — với nồng độ SO₂ là 47 ppmv, cho thấy sự tích tụ sản phẩm phụ của quá trình phân hủy hồ quang ở mức độ cao. Nguyên nhân gốc rễ: chất hút ẩm đã bão hòa. Không có sự cố nào khác xảy ra trong giai đoạn giám sát 24 tháng tiếp theo.

Làm thế nào để khắc phục sự cố liên quan đến độ tinh khiết của khí trong các bộ phận cách điện bằng khí SF6 tại nhà máy công nghiệp?

Để khắc phục sự cố về độ tinh khiết của khí một cách hiệu quả, cần có một phương pháp chẩn đoán có hệ thống, không chỉ xác định mức độ tinh khiết mà còn xác định nguồn gây ô nhiễm — bởi vì biện pháp khắc phục phù hợp hoàn toàn phụ thuộc vào nguyên nhân gây ra sự suy giảm độ tinh khiết.

Bước 1: Xác định mức đo lường cơ sở về chất lượng khí

• Kết nối máy phân tích đa thông số SF6 đã được hiệu chuẩn với van bảo dưỡng khoang — tuyệt đối không được kết nối với van xả áp hoặc thiết bị giám sát mật độ
• Trước khi tiến hành đo, hãy xả sạch đường ống lấy mẫu với lượng khí gấp ít nhất 3 lần thể tích đường ống để loại bỏ sự nhiễm bẩn từ không khí bên ngoài vào mẫu
• Đo đồng thời: Độ tinh khiết SF6 (%), điểm sương độ ẩm (°C ở áp suất làm việc), nồng độ SO₂ (ppmv) và hàm lượng hydrocacbon tổng (ppmv)
• Ghi lại nhiệt độ môi trường, áp suất khoang và số lần thao tác chuyển đổi tích lũy kể từ lần phân tích khí gần nhất

Bước 2: Áp dụng Ma trận quyết định chẩn đoán theo tiêu chuẩn IEC 60480

Kết quả đo lường	Nguồn ô nhiễm có thể	Hành động cần thực hiện
Độ tinh khiết SF6 <97%, nồng độ N₂/O₂ tăng cao	Không khí lọt vào qua khe hở	Kiểm tra rò rỉ + sửa chữa gioăng + nạp lại khí
Độ tinh khiết SF6 12 ppmv	Sự tích tụ các sản phẩm phụ của quá trình hồ quang	Thay thế chất hút ẩm + tái chế khí
Độ tinh khiết SF6 ≥97,1%, điểm sương >–5°C	Sự xâm nhập của hơi ẩm / Sự bão hòa của chất hút ẩm	Thay thế chất hút ẩm + sấy chân không
Độ tinh khiết SF6 ≥97,1%, SO₂ 5–12 ppmv	Sự tích tụ sớm của các sản phẩm phụ	Tăng tần suất giám sát; lên kế hoạch thay thế chất hút ẩm
Độ tinh khiết SF6 <90%, nhiều thông số bất thường	Sau sự cố hoặc bị ô nhiễm nghiêm trọng	Hồi phục hoàn toàn khí + kiểm tra các bộ phận + tân trang

Bước 3: Xác định nguồn ô nhiễm thông qua phân tích xu hướng

• So sánh kết quả đo hiện tại với các dữ liệu lịch sử — sự sụt giảm đột ngột về độ tinh khiết giữa các lần đo cho thấy một sự kiện riêng biệt; sự suy giảm dần dần cho thấy sự tích tụ theo thời gian
• So sánh tốc độ suy giảm độ tinh khiết với nhật ký hoạt động chuyển mạch — các ứng dụng tại nhà máy công nghiệp có tần suất chuyển mạch cao cho thấy tốc độ tích tụ sản phẩm phụ nhanh hơn
• Tiến hành kiểm tra rò rỉ SF6 bằng camera hồng ngoại nếu nghi ngờ có không khí xâm nhập — xác định vị trí và đánh giá mức độ của tất cả các điểm rò rỉ trước khi tái chế khí

Bước 4: Thực hiện các biện pháp khắc phục theo loại ô nhiễm

• Độ tinh khiết 95–97% (TP3T) (ở mức tối thiểu): Tái chế khí tại chỗ bằng thiết bị tái chế SF6 di động kết hợp với hệ thống lọc than hoạt tính và sàng phân tử
• Độ tinh khiết 90–95% (không tuân thủ): Hút hết khí SF6 về đơn vị thu hồi được chứng nhận; kiểm tra các bộ phận để phát hiện hư hỏng do hồ quang; nạp lại bằng khí SF6 đạt tiêu chuẩn IEC 60376
• Độ tinh khiết <90% (quan trọng): Thu hồi hoàn toàn khí; kiểm tra bên trong bắt buộc; đo lượng xả một phần; không được đưa vào vận hành trở lại nếu chưa có xác nhận của bộ phận kỹ thuật

Bước 5: Kiểm tra sau khi khắc phục

• Tiến hành phân tích chất lượng khí sau 24–48 giờ kể từ khi tái chế hoặc nạp lại để khí đạt trạng thái cân bằng với bề mặt
• Kiểm tra độ tinh khiết của SF6 ≥97%, điểm sương độ ẩm ≤–5°C ở áp suất vận hành, nồng độ SO₂ ≤12 ppmv theo tiêu chí tái sử dụng của tiêu chuẩn IEC 60480

Chiến lược quản lý độ tinh khiết khí nào giúp đảm bảo độ tin cậy của quá trình dập tắt hồ quang trong suốt vòng đời của thiết bị?

Chương trình quản lý vòng đời độ tinh khiết khí SF6 cho các ứng dụng tại nhà máy công nghiệp

1. Thực hiện kiểm tra chất lượng khí — Kiểm tra độ tinh khiết của SF6 ≥99,91% và điểm sương độ ẩm ≤–36°C ở áp suất khí quyển theo tiêu chuẩn IEC 60376 trước khi nạp lần đầu
2. Phân tích chất lượng khí hàng năm — Đo nồng độ SF₆, độ ẩm và SO₂ trong mỗi đợt ngừng hoạt động bảo dưỡng hàng năm
3. Theo dõi hoạt động chuyển mạch — Lập sổ ghi chép tích lũy các hoạt động chuyển mạch cho từng khoang
4. Lịch thay thế chất hút ẩm — Thay thế chất hút ẩm dạng sàng phân tử sau mỗi 6 năm trong các ứng dụng tại nhà máy công nghiệp
5. Chuyên ngành xử lý khí — Phải chuẩn bị các bình thu hồi đã được chứng nhận riêng biệt cho từng cấp độ tinh khiết của khí thu hồi

Quản lý độ tinh khiết khí: So sánh chi phí giữa phương pháp phản ứng và chủ động

Chiến lược	Chi phí hàng năm	Rủi ro hỏng hóc do hồ quang	Tuân thủ tiêu chuẩn IEC 60480	Được đề xuất
Không có hệ thống giám sát chất lượng khí	$0 trực tiếp	Rất cao	Không tuân thủ	❌ Không bao giờ
Phản ứng (chỉ kiểm tra sau khi xảy ra lỗi)	1.000–45.000 TP4T cho mỗi sự cố	Cao	Thỉnh thoảng	❌ Không
Chỉ phân tích hàng năm	$600–$1,200/year	Trung bình	Một phần	⚠️ Mức tối thiểu
Phân tích hàng năm + chất hút ẩm chủ động	$1,500–$2,500/year	Thấp	Toàn bộ	✔ Được khuyến nghị
Chương trình toàn bộ vòng đời (các nội dung trên + xu hướng)	$2,500–$4,000/year	Rất thấp	Hoàn chỉnh + có tài liệu kèm theo	✔ Thực tiễn tốt nhất

Kết luận

Độ tinh khiết của khí không phải là một thông số phụ trong các bộ phận cách điện bằng khí SF6 — đây chính là yếu tố quyết định trực tiếp đến hiệu quả dập tắt hồ quang và độ tin cậy của hệ thống bảo vệ hồ quang trong mọi thao tác đóng cắt mà hệ thống nhà máy công nghiệp của bạn thực hiện. Các ngưỡng độ tinh khiết theo tiêu chuẩn IEC 60480 được thiết lập bởi vì cơ chế vật lý của quá trình dập tắt hồ quang bằng khí SF6 là vô cùng khắt khe: khi độ tinh khiết xuống dưới 97%, cơ chế gắn kết electron — yếu tố khiến SF6 trở thành môi trường dập tắt hồ quang hiệu quả nhất thế giới — sẽ bắt đầu suy giảm. Đo lường độ tinh khiết của khí một cách có hệ thống, xác định chính xác nguồn gây ô nhiễm, tiến hành bảo dưỡng chủ động và tuyệt đối không đưa bất kỳ bộ phận cách điện bằng khí SF6 nào trở lại hoạt động ngắt mạch định mức khi chất lượng khí không đáp ứng tiêu chuẩn IEC 60480.

Câu hỏi thường gặp về độ tinh khiết của khí SF6 và hiệu suất dập tắt hồ quang

1. Phân tích khoa học về độ âm điện và tính chất làm giảm độ phát quang của khí SF6. ↩

2. Các nguyên lý kỹ thuật cơ bản về quá trình phục hồi điện môi sau khi ngắt dòng sự cố. ↩

3. Thông số kỹ thuật chính thức đối với khí SF6 mới được sử dụng trong thiết bị điện. ↩

4. Các quy trình tiêu chuẩn về việc tái sử dụng và tái chế khí SF6 đang được sử dụng. ↩

5. Hướng dẫn về an toàn và sức khỏe khi xử lý các sản phẩm phụ SO₂ và HF trong quá trình bảo trì. ↩